Titel |
In-situ-Charakterisierung und Ladungsträgerkinetik amorpher Halbleiter auf Silicium-Basis / von Carsten Swiatkowski |
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Beteiligt |
Carsten Swiatkowski (Verfasser) |
Erschienen |
1995 |
Umfang |
II, 145 S. : Ill., graph. Darst. |
Hochschulschrift |
Berlin, Techn. Univ., Diss., 1996 |
Themengebiet |
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Thema |
Silicium, Amorpher Halbleiter, PECVD-Verfahren, Ladungsträgerbeweglichkeit |
Datensatz-ID |
948436670 |
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