Titel |
Laserinduziertes Ätzen zur Strukturierung von Halbleiteroberflächen / Hans Weber |
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Beteiligt |
Hans Weber (Verfasser) |
Erschienen |
1996 |
Umfang |
VIII, 129 S. : Ill., graph. Darst. |
Hochschulschrift |
München, Techn. Univ., Diss., 1996 |
Themengebiet |
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Thema |
Indiumphosphid, Ätzen, Kryptonfluoridlaser, Chlor, Halbleiteroberfläche, Auger-Spektroskopie |
Datensatz-ID |
950445169 |
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