Titel |
Untersuchung des selektiven Wolfram-CVD-Prozesses zur Viafüllung / Stefan E. Schulz |
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Beteiligt |
Stefan E. Schulz (Verfasser) |
Erschienen |
Aachen: Shaker |
Ausgabe |
Als Ms. gedr. |
Umfang |
X, 207 S. : Ill., graph. Darst. |
Hochschulschrift |
Zugl.: Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1996 |
ISBN |
978-3-8265-2646-6 |
Themengebiet |
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Thema |
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Reihe |
Berichte aus der Halbleitertechnik |
Datensatz-ID |
950763551 |
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