Titel |
Untersuchungen zum diffusen katodischen Vakuumbogen bei der plasmaaktivierten Hochratebedampfung / von Bert M. Scheffel |
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Beteiligt |
Bert M. Scheffel (Verfasser) |
Erschienen |
2000 |
Umfang |
VIII, 123 S. : Ill., graph. Darst. |
Hochschulschrift |
Magdeburg, Univ., Diss., 2000 |
Themengebiet |
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Thema |
Elektronenstrahlverdampfen, Metalldampf, Titan, Vakuumlichtbogen, Bogenplasma, Plasmaerzeugung |
Datensatz-ID |
960285482 |
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