Titel |
Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid / Michael Haag |
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Beteiligt |
Michael Haag (Verfasser) |
Erschienen |
Aachen: Shaker***5100500 |
Umfang |
VIII, 117 S. : Ill., graph. Darst. |
Hochschulschrift |
Zugl.: Kaiserslautern, Univ., Diss., 2003 |
ISBN |
978-3-8322-1632-0 |
Land |
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Themengebiet |
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Thema |
Plasmabrenner, PVD-Verfahren, Plasmastrahl, Bornitrid, Dünne Schicht |
Reihe |
Berichte aus der Physik |
Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid |
Datensatz-ID |
967947014 |
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