Titel |
Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen / von Oliver Nehrig |
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Beteiligt |
Oliver Nehrig (Verfasser) |
Erschienen |
2003 |
Hochschulschrift |
Essen, Univ., Diss., 2003 |
Themengebiet |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Thema |
Manipulator, Schwerlast, Beschleunigungssensor, Kapazitiver Sensor, Siliciumsensor, Mikromechanik |
Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen |
Persistent Identifier |
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Datensatz-ID |
967968259 |
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