Titel |
Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie / vorgelegt von Michael Schulz |
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Beteiligt |
Michael Schulz (Verfasser) |
Erschienen |
2003 |
Umfang |
Online-Ressource |
Hochschulschrift |
Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2003 |
Themengebiet |
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Thema |
Siliciumorganische Verbindungen, Lithografie (Halbleitertechnologie), Ausgangsmaterial, Pyrolyse, Nichtoxidkeramik, Rapid Prototyping (Fertigung) |
Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie |
Persistent Identifier |
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Datensatz-ID |
968798136 |
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