Titel |
Methodology for electrical characterization of MOS devices with alternative gate dielectrics / von Andreas Kerber |
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Beteiligt |
Andreas Kerber (Verfasser) |
Erschienen |
2004 |
Umfang |
XVI, 123 S. : Ill., graph. Darst. |
Hochschulschrift |
Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 2004 (Nicht für den Austausch) |
Sprache |
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Themengebiet |
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Thema |
CMOS, Gate-Oxid, Aluminiumoxide, Dielektrizitätszahl, Ladungsträgerbeweglichkeit, Rekombination |
Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Methodology for electrical characterization of MOS devices with alternative gate dielectrics |
Datensatz-ID |
970333374 |
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