Titel |
Piezoresistive cantilevers with an integrated bimorph actuator / by Tzvetan Ivanov |
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Beteiligt |
Tzvetan Ivanov (Verfasser) |
Erschienen |
2004 |
Umfang |
Online-Ressource |
Hochschulschrift |
Kassel, Univ., Diss., 2004 |
Sprache |
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Themengebiet |
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Thema |
Rasterkraftmikroskopie, Kantilever, Mikroaktor, Piezoelektrischer Drucksensor, Eigenschwingung, Online-Publikation |
Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Piezoresistive cantilevers with an integrated bimorph actuator |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:hebis:34-1153 (URN) |
Datensatz-ID |
971998620 |
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