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Organization
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Organisation

Institut für Mikrostrukturtechnik

Karlsruhe, Eggenstein-Leopoldshafen

Name

Institut für Mikrostrukturtechnik

Place

Karlsruhe
Eggenstein-Leopoldshafen
Deutschland

Variant
Kernforschungszentrum Karlsruhe. Institut für Mikrostrukturtechnik
Forschungszentrum Karlsruhe. Institut für Mikrostrukturtechnik
Institute for Microstructure Technology (Karlsruhe)
Forschungszentrum Karlsruhe. Institute for Microstructure Technology
Universität Karlsruhe. Institut für Mikrostrukturtechnik
Universität Karlsruhe. Fakultät für Maschinenbau. Institut für Mikrostrukturtechnik
Universität Karlsruhe. Fakultät für Maschinenbau. Institute for Microstructure Technology
IMT (Abkürzung)

Predecessor

Institut für Kernverfahrenstechnik (Karlsruhe)

Hierarchical superior

Kernforschungszentrum Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe
Universität Karlsruhe. Fakultät für Maschinenbau

Topic

Technik (Allgemeines)

Source

Homepage: http://www.imt.kit.edu/ (Stand: 28.05.2018)

Record type

Organisation

GND-Identifier

2105949-4

Record ID

007540035

Involved in

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Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

Großformatige Abformung mikrostrukturierter Formeinsätze durch Heißprägen

Ergebnisbericht über Forschung und Entwicklung / Institut für Mikrostrukturtechnik

2002

Ergebnisbericht über Forschung und Entwicklung / Institut für Mikrostrukturtechnik

2001

Ergebnisbericht über Forschung und Entwicklung / Institut für Mikrostrukturtechnik

2000

Ergebnisbericht über Forschung und Entwicklung / Institut für Mikrostrukturtechnik

1999

Ergebnisbericht über Forschung und Entwicklung / Institut für Mikrostrukturtechnik

1998

Ergebnisbericht über Forschung und Entwicklung / Institut für Mikrostrukturtechnik

1997

Ergebnisbericht über Forschung und Entwicklung / Institut für Mikrostrukturtechnik

1996

Ergebnisbericht über Forschung und Entwicklung / Institut für Mikrostrukturtechnik

1995

Ergebnisbericht über Forschung und Entwicklung / Institut für Mikrostrukturtechnik

Ergebnisbericht über Forschung und Entwicklung / Institut für Mikrostrukturtechnik

1994

Ergebnisbericht über Forschungs- und Entwicklungsarbeiten / Institut für Mikrostrukturtechnik

1993.

Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern

Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren

Ergebnisbericht über Forschungs- und Entwicklungsarbeiten / Institut für Mikrostrukturtechnik

1992.

Ergebnisbericht über Forschungs- und Entwicklungsarbeiten / Institut für Mikrostrukturtechnik

1991.

Ergebnisbericht über Forschungs- und Entwicklungsarbeiten / Institut für Mikrostrukturtechnik

1990

Systemtechnische Analyse und Entwicklung eines Mikroventils in LIGA-Technik

Systemtechnische Analyse und Entwicklung eines Mikroventils in LIGA-Technik

Ergebnisbericht über Forschungs- und Entwicklungsarbeiten / Institut für Mikrostrukturtechnik

Ergebnisbericht über Forschungs- und Entwicklungsarbeiten / Institut für Mikrostrukturtechnik

1989

Anwendungsspektrum moderner supraleitender Kompaktquellen für Synchrotronstrahlung am Beispiel der konzipierten Karlsruher Quelle (KSSQ)
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