Title |
Arbeits- und Ergebnisbericht / Sonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau |
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Involved |
Sonderforschungsbereich Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays (Verfasser) |
Published |
Chemnitz: Sonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau |
Publication history |
Nachgewiesen 1995/97(1997) - 2004/06; damit Ersch eingest. |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Zwickau, Technische Universität, Zeitschrift |
Record ID |
018961371 |
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