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Subject heading
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Allgemeinbegriff

LIGA-Verfahren

Mikrosystemtechnik

Subject heading

LIGA-Verfahren

Definition

Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung u. anschliessender Galvanoformung

Synonym

Lichtinduzierte galvanische Abscheidung
LIGA-Technik (B 1986/Erg.)

Broader term

Mikrosystemtechnik

Topic

Feinwerktechnik
Elektronik, Nachrichtentechnik

Source

Lex. Elektronik, Mikroelektronik (2. Aufl.)

Record type

Allgemeinbegriff

GND-Identifier

4274347-3

Record ID

042743478

Topic of

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