Title |
Nickelhaltige Kohlenwasserstoff-Funktionsschichten (Ni:a-C:H) für Drucksensoren / Ralf Koppert |
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Involved |
Ralf Koppert (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
XXII, 192 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2010 |
ISBN |
978-3-8322-9708-4 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Drucksensor, Dünne Schicht, Diamantähnlicher Kohlenstoff, Wasserstoff, Nickel, Sputtern |
DDC notation |
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Series |
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik = Recent developments in MEMS ; Bd. 12 |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Nickelhaltige Kohlenwasserstoff-Funktionsschichten (Ni:a-C:H) für Drucksensoren |
Record ID |
1009852701 |
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