Title |
Simulation of proximity printing = Simulation der Nahfeldbelichtung / Péter Bálint Meliorisz |
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Involved |
Péter Bálint Meliorisz (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
VII, 124 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2010 |
ISBN |
978-3-8322-9742-8 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Fotolithografie (Halbleitertechnologie), Belichtung, Nahfeld, Nanometerbereich, Photoresist, Ausbleichen, Simulation |
DDC notation |
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Series |
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 2011,1 |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Simulation of Proximity Printing : Simulation der Nahfeldbelichtung |
Record ID |
1009852728 |
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