Title |
Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage / Martin Schellenberger |
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Involved |
Martin Schellenberger (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
IV, 164 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2011 |
ISBN |
978-3-8440-0264-5 |
Language |
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Country |
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Topic |
Elektrotechnik, Elektronik |
Subject |
Halbleitertechnologie, Prozessautomation, Prozessüberwachung, Messtechnik, Integrierter Sensor, Programmierbare Steuerung, Modulares Softwaresystem, Softwarearchitektur, Systemplattform, Mehrstufenprozess |
DDC notation |
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Series |
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 2011,3 |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage |
Record ID |
1014094526 |
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