Title |
Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner / Joachim Fritz |
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Involved |
Joachim Fritz (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
143 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2012 |
ISBN |
978-3-8440-0828-9 |
Language |
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Country |
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Topic |
Elektrotechnik, Elektronik |
Subject |
MEMS, Mikrooptik, Scanner, Mikroaktor, Kammantrieb, Drehmomentregelung, SOI-Technik, Geräteentwicklung, Herstellung |
DDC notation |
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Series |
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik = Recent developments in MEMS ; Bd. 21 |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner |
Record ID |
1019653906 |
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