Title |
Herstellung und Charakterisierung von transparenten elektrisch leitfähigen TiO2:Nb- Dünnschichten durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern / Manuela Junghähnel. Gutachter: Peter Schaaf ; Johannes Strümpfel. Betreuer: Edda Rädlein |
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Involved |
Manuela Junghähnel (Verfasser) |
Published |
Ilmenau: Universitätsbibliothek Ilmenau |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2011 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Titandioxid, Transparent-leitendes Oxid, Niob, Dünne Schicht, Magnetronsputtern |
DDC notation |
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Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Herstellung und Charakterisierung von transparenten, elektrisch leitfähigen TiO2:Nb-Dünnschichten durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern |
Persistent identifier |
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Record ID |
1019969792 |
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