Title |
Modellierung von Transportprozessen neutraler und ionisierter Spezies in mikro- und nanostrukturierenden Ätzprozessen / Maik Hauguth. Gutachter: Gerhard Franz ; Volker Zerbe. Betreuer: Ivo W. Rangelow |
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Involved |
Maik Hauguth (Verfasser) |
Published |
Ilmenau: Universitätsbibliothek Ilmenau |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2012 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Plasmaätzen |
DDC notation |
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Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Modellierung von Transportprozessen neutraler und ionisierter Spezies in mikro- und nanostrukturierenden Ätzprozessen |
Persistent identifier |
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Record ID |
1026043077 |
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