Title |
Integration optischer Filter mit strukturierten mikromechanisch abstimmbaren Sensor-Arrays mittels Dünnschichtdeposition und Nanostrukturierung / Karin Schultz |
|---|---|
Involved |
Karin Schultz (Verfasser) |
Published |
Kassel: Kassel Univ. Press |
Extent |
164 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Kassel, Univ., Diss., 2012 |
ISBN |
978-3-86219-620-3 |
Language |
|
Country |
|
Topic |
Elektrotechnik, Elektronik |
Subject |
Spektrometer, Miniaturisierung, Fabry-Pérot-Interferometer, Optisches Filter, Verteilte Bragg-Reflexion, Sensor-Array, Nanooptik, Dünne Schicht, PECVD-Verfahren, Fotolithografie (Halbleitertechnologie) |
DDC notation |
|
Further information |
Zusätzliches Online-Angebot: URN: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:002-36213 |
Record ID |
1036699269 |
Please note
The beta version does not yet contain all functions and information of the DNB portal catalogue. If you are missing information or want to order a medium, please visit the page in the DNB portal catalogue via the following link: