Title |
Erweiterung der Einsatzgrenzen von Sensoren für die Mikro- und Nanomesstechnik durch dynamische Sensornachführung unter Anwendung nanometeraufgelöster elektrischer Nahfeldwechselwirkung / Alexander Schuler |
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Involved |
Alexander Schuler (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
III, 126 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2013 |
ISBN |
978-3-8440-2299-5 |
Language |
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Country |
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Topic |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Subject |
Nanotechnologie, Mikrosystemtechnik, Oberflächenmessung, Taktiler Sensor, Winkel, Nachführung, Rotation (Vektoranalysis) |
DDC notation |
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Series |
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Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Erweiterung der Einsatzgrenzen von Sensoren für die Mikro- und Nanomesstechnik durch dynamische Sensornachführung unter Anwendung nanometeraufgelöster elektrischer Nahfeldwechselwirkung |
Record ID |
1042396574 |
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