Title |
Ortsaufgelöste Bestimmung von Gitterverzerrungen in Silizium-Nanostrukturen mittels Elektronenrückstreubeugung / Michael Krause |
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Involved |
Michael Krause (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
XII, 90, XXIV S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Halle (Saale), Univ., Diss., 2013 |
ISBN |
978-3-8440-2791-4 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Siliciumhalbleiter, Nanostruktur, Kristallgitter, Verzerrung, Ionenstrahlätzen, Elektronenrückstreubeugung |
DDC notation |
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Series |
Berichte aus der Physik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Ortsaufgelöste Bestimmung von Gitterverzerrungen in Silizium-Nanostrukturen mittels Elektronenrückstreubeugung |
Record ID |
1050488652 |
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