Title |
Untersuchung des Temperaturkoeffizienten und anderer Materialeigenschaften von Laser-ausgeheilten amorphen Silizium- und Silizium-Germanium-Schichten / Jan Förster |
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Involved |
Jan Förster (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
1. Aufl. |
Extent |
Online-Ressource : 100 Ill. |
Thesis |
Zugl.: Universität Duisburg-Essen, Diss., 2013 |
ISBN |
978-3-8440-1985-8 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Silicium, Germanium, Halbleiterschicht, Amorpher Zustand, PECVD-Verfahren, Lasertempern, Excimerlaser, Temperaturabhängigkeit, Stoffeigenschaft, CMOS |
DDC notation |
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Series |
Berichte aus der Halbleitertechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Untersuchung des Temperaturkoeffizienten und anderer Materialeigenschaften von Laser-ausgeheilten amorphen Silizium- und Silizium-Germanium-Schichten |
Persistent identifier |
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Further information |
Lizenzpflichtig |
Record ID |
1051574331 |
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