Title |
Positioning with nanometre precision requires a high tech nanopositioning and nanomeasuring machine and an optimal machine setup / Bernd Fiedler ; Erik Gerlach ; Isabel Husung ; Igor Zeidis ; Klaus Zimmermann ; Roland Füßl ; Eberhard Manske ; Tino Hausotte ; René Theska. Universitätsbibliothek <Ilmenau> / ilmedia |
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Involved |
Bernd Fiedler (Mitwirkender)
Erik Gerlach (Mitwirkender) Isabel Husung (Mitwirkender) Igor Zeidis (Mitwirkender)
Klaus Zimmermann (Mitwirkender)
Roland Füßl (Mitwirkender) Eberhard Manske (Mitwirkender) Tino Hausotte (Mitwirkender) René Theska (Mitwirkender) Universitätsbibliothek <Ilmenau> / ilmedia (Sonstige) |
Published |
Ilmenau: Universitätsbibliothek Ilmenau |
Extent |
Online-Ressource |
Language |
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Country |
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Topic |
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Part of |
Shaping the Future by Engineering : proceedings ; 58th IWK, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau, 8 - 12 September 2014 ; [1.1.8] |
Persistent identifier |
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Record ID |
106693200X |
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