Title |
Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors / Nils Rasmus Behnel |
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Involved |
Nils Rasmus Behnel (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
1. Aufl. |
Extent |
Online-Ressource : 17 farb. Ill. |
Thesis |
Zugl.: Universität des Saarlandes, Saarbrücken, Diss., 2012 |
ISBN |
978-3-8440-0962-0 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Drucksensor, Siliciumcarbid, MEMS, Herstellung, CVD-Verfahren, Trockenätzen, Nassätzen, Kontaktieren |
DDC notation |
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Series |
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS ; 22 |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors |
Persistent identifier |
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Further information |
Lizenzpflichtig |
Record ID |
1069046191 |
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