Title |
Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators / Xin Xu |
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Involved |
Xin Xu (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
1. Aufl. |
Extent |
Online-Ressource : 41 farb. Ill. |
Thesis |
Zugl.: Technische Universität Berlin, Diss., 2011 |
ISBN |
978-3-8440-0590-5 |
Language |
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Country |
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Topic |
Elektrotechnik, Elektronik |
Subject |
MEMS, Mikroaktor, Elektrolinearmotor, Mikrosensor, Magnetfeldsensor, Positionierung, Messsystem, Mikrofertigung, Ferromagnetische Schicht, Hysteresekurve |
DDC notation |
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Series |
Berichte aus der Mikrosystemtechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators |
Persistent identifier |
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Further information |
Lizenzpflichtig |
Record ID |
1069049697 |
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