Title |
Gekoppelte dynamisch-optische Simulation von Hochleistungsobjektiven / Nicolai Wengert |
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Involved |
Nicolai Wengert (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
XII, 142 Seiten : Illustrationen |
Thesis |
Dissertation, Universität Stuttgart, 2015 |
ISBN |
978-3-8440-4175-0 |
Language |
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Country |
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Topic |
Elektrotechnik, Elektronik |
Subject |
Fotolithografie (Halbleitertechnologie), Objektiv, Mehrkörpersystem, Finite-Elemente-Methode, Ray tracing, Fourier-Optik, Simulation, Belichtung, Bildfehler, Photoresist |
DDC notation |
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Series |
Schriften aus dem Institut für Technische und Numerische Mechanik der Universität Stuttgart ; Band 40 (2016) |
Record ID |
1080494162 |
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