Title |
Fertigungsmethoden zur Herstellung dreidimensionaler metallischer Mikrosysteme für Life-Science Anwendungen / Claudia Richter |
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Involved |
Claudia Richter (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
1. Aufl. |
Extent |
Online-Ressource : 56 Ill. |
Thesis |
Zugl.: Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, Diss., 2015 |
ISBN |
978-3-8440-3833-0 |
Language |
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Country |
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Topic |
Industrielle und handwerkliche Fertigung |
Subject |
Edelstahl, Fotolithografie (Halbleitertechnologie), Ultraviolett, Nassätzen, Eisenchloride, Lösung (Chemie), Elektropolieren, Mikromechanik, Strömungskanal, Herstellung |
DDC notation |
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Series |
Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 38 |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Fertigungsmethoden zur Herstellung dreidimensionaler metallischer Mikrosysteme für Life-Science-Anwendungen |
Persistent identifier |
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Further information |
Lizenzpflichtig |
Record ID |
1080763511 |
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