Title |
Herstellung SiO2-basierter nano- und mikroskaliger Strukturen via UV-Nanoimprintlithographie auf Basis hybridpolymerer Sol-Gel-Materialien / Franziska Back. Gutachter: Peer Löbmann ; Reinhold Tacke |
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Involved |
Franziska Back (Verfasser) |
Published |
Würzburg: Universität Würzburg |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Dissertation, Würzburg, Universität Würzburg, 2014 |
Language |
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Country |
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Topic |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Subject |
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DDC notation |
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Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Herstellung SiO-2-basierter nano- und mikroskaliger Strukturen via UV-Nanoimprintlithographie auf Basis hybridpolymerer Sol-Gel-Materialien |
Persistent identifier |
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Record ID |
1109750226 |
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