Title |
Weiterentwicklung eines Verfahrens zur Bestimmung der optischen Konstanten von Fotolacken mittels Swingkurven in der Fotolithografie / Marko Szuggars |
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Involved |
Marko Szuggars (Verfasser) |
Published |
München: GRIN Verlag |
Edition |
1. Auflage |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Diplomarbeit, Technische Fachhochschule Wildau, 2005 |
ISBN |
978-3-638-52664-7 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
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Persistent identifier |
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Further information |
Lizenzpflichtig. - Vom Verlag als Druckwerk on demand und/oder als E-Book angeboten |
Record ID |
1109897162 |
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