Title |
Untersuchung und Minimierung lateraler Rissabweichungen beim Thermischen Laserstrahlseparieren / Dirk Lewke |
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Involved |
Dirk Lewke (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker Verlag |
Edition |
[1. Auflage] |
Extent |
VIII, 190 Seiten : Illustrationen, Diagramme |
Thesis |
Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2017 |
ISBN |
978-3-8440-5929-8 |
Language |
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Country |
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Topic |
Elektrotechnik, Elektronik |
Subject |
Halbleitertechnologie, Thermisches Laserstrahlseparieren, Wafer, Silicium, Rissverlauf, Abweichung, Einflussgröße, Temperaturverteilung, Rissausbreitung, Modifizierung |
DDC notation |
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Series |
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Band 2018, 1 |
Record ID |
115574604X |
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