Title |
Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates = Multiskalensimulation der Atomlagenabschscheidung von metallischem Kupfer und Kupferoxid aus Cu Beta-Diketonate / Xiao Hu |
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Involved |
Xiao Hu (Verfasser) |
Published |
Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz |
Edition |
[1. Auflage] |
Extent |
197 Seiten : Illustrationen |
Thesis |
Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2017 |
ISBN |
978-3-96100-053-1 |
Language |
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Country |
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Topic |
Elektrotechnik, Elektronik |
Subject |
Leiterbahn, Atomlagenabscheidung, Kupferoxide, Kupfer, Diketonate (beta), Ausgangsmaterial, Oberflächenchemie, Mehrskalenanalyse, Simulation |
DDC notation |
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Record ID |
1163030686 |
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