Title |
Gasmischrelationen zwischen den Ätzgasen die F/HBr/O/He enthalten für die Erzeugung von Trenchprofilen mit Winkelanforderungen von 90° bis 78° (getaperte Winkel) bei Verwendung von RIE Anlagen und High Density Plasmaanlagen |
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Published |
Berlin: Prior Art Publishing GmbH |
Edition |
Bestandsaufnahme: 19.07.2018 |
Extent |
Online-Ressource |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
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Persistent identifier |
urn:nbn:de:101:1-2018071916012758693019 (URN) |
Further information |
Lizenzpflichtig |
Record ID |
1163063193 |
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