Title |
Mikro- und nanoelektromechanische Resonatoren für die Sensorik / Christian Förster |
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Involved |
Christian Förster (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
1. Auflage |
Extent |
Online-Ressource, 180 Seiten : 202 Illustrationen |
Thesis |
Dissertation, Technische Universität Ilmenau, 2005 |
ISBN |
978-3-8322-5275-5 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Siliciumcarbid, Resonator, Halbleitersensor, MEMS, CVD-Verfahren, Halbleitertechnologie |
Series |
Berichte aus der Halbleitertechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Mikro- und nanoelektromechanische Resonatoren für die Sensorik |
Persistent identifier |
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Further information |
Lizenzpflichtig |
Record ID |
1170535763 |
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