Title |
Plasmaätzverfahren für multikristalline Silizium Solarzellen : Grundlagen und Anwendungen industrienaher Prozessierung / Wolfgang A Nositschka |
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Involved |
Wolfgang A. Nositschka (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
1. Auflage |
Extent |
Online-Ressource, 112 Seiten : 95 Illustrationen |
Thesis |
Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2003 |
ISBN |
978-3-8322-1710-5 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Solarzelle, Silicium, Polykristall, Plasmaätzen, Ionenstrahlätzen, Maskentechnik |
Series |
Berichte aus der Halbleitertechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Plasmaätzverfahren für multikristalline Silizium-Solarzellen : Grundlagen und Anwendungen industrienaher Prozessierung |
Persistent identifier |
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Further information |
Lizenzpflichtig |
Record ID |
1174514698 |
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