Title |
Untersuchungen zur Integration piezoelektrischer und elektrostriktiver Dünnschichtkeramiken in einen elektromechanischen Mikrorelaisantrieb / Marcus Hoffmann |
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Involved |
Marcus Hoffmann (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
1. Auflage |
Extent |
Online-Ressource, 134 Seiten : 89 Illustrationen |
Thesis |
Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2002 |
ISBN |
978-3-8322-1137-0 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Relais, Mikroaktor, Integration (Mikroelektronik), PZT, Dünne Schicht, Elektrostriktion |
Series |
Berichte aus der Elektrotechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Untersuchungen zur Integration piezoelektrischer und elektrostriktiver Dünnschichtkeramiken in einen elektromechanischen Mikrorelaisantrieb |
Persistent identifier |
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Record ID |
1179032853 |
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