Title |
Wachstum und Eigenschaften von ionenstrahlunterstützt aufgedampften TiN-Schichten / Detlef Wolff |
|---|---|
Involved |
Detlef Wolff (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
Online-Ressource, 123 Seiten |
ISBN |
978-3-8265-7518-1 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Titannitrid, Dünne Schicht, Schichtwachstum, Aufdampfen, Ionenstrahl |
Series |
Berichte aus der Physik |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Wachstum und Eigenschaften von ionenstrahlunterstützt aufgedampften TiN-Schichten |
Persistent identifier |
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Record ID |
1196478074 |
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