Title |
Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis / Marlene Kopf ; Betreuer: J. Korvink |
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Involved |
Marlene Kopf (Verfasser) |
Published |
Karlsruhe: KIT-Bibliothek |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Dissertation, Karlsruhe, Karlsruher Institut für Technologie (KIT), 2021 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
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DDC notation |
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Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis |
Persistent identifier |
urn:nbn:de:101:1-2022010503591736602487 (URN) |
Record ID |
124877342X |
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