Title |
Großflächige Topographiemessungen mit einem Weißlichtinterferenzmikroskop und einem metrologischen Rasterkraftmikroskop / Yiting Wu ; Gutachter: Tino Hausotte, Eberhard Manske ; Betreuer: Tino Hausotte ; Herausgeber: Jörg Franke, Nico Hanenkamp, Tino Hausotte, Marion Merklein, Michael Schmidt, Sandro Wartzack |
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Involved |
Yiting Wu (Verfasser)
Tino Hausotte (Akademischer Betreuer) Tino Hausotte (Gutachter) Eberhard Manske (Gutachter)
Jörg Franke (Herausgeber)
Nico Hanenkamp (Herausgeber) Tino Hausotte (Herausgeber) Marion Merklein (Herausgeber) Michael Schmidt (Herausgeber) Sandro Wartzack (Herausgeber) |
Published |
Erlangen: FAU University Press |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2021 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Messtechnik, Erweiterung, Nanometerbereich, Mikrometerbereich, Oberflächenstruktur, Weißlichtinterferometer, Mikroskop, Rasterkraftmikroskop |
DDC notation |
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Series |
FAU Studien aus dem Maschinenbau ; 390 |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Großflächige Topographiemessungen mit einem Weißlichtinterferenzmikroskop und einem metrologischen Rasterkraftmikroskop |
Persistent identifier |
urn:nbn:de:bvb:29-opus4-189949 (URN) |
Further information |
In: mb.fau.de/diss |
Record ID |
1255460490 |
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