Title |
Untersuchungen zur Stabilität von Widerständen aus dünnen Platinschichten und charakteristische Eigenschaften für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik |
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Involved |
Timo Schössler (Verfasser)
Gerald A. Urban (Akademischer Betreuer) Gerald A. Urban (Sonstige) Oliver Paul (Sonstige)
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Institut für Mikrosystemtechnik (Mitwirkender)
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Fakultät für Angewandte Wissenschaften (Grad-verleihende Institution) |
Published |
Freiburg: Universität |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Dissertation, Universität Freiburg, 2021 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
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DDC notation |
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Persistent identifier |
urn:nbn:de:bsz:25-freidok-2275227 (URN) |
Record ID |
1260363511 |
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