Title |
Materialien und Prozessführung für vertikale Stoßionisationstransistoren / Tina Kubot |
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Involved |
Tina Kubot (Verfasser) |
Published |
Göttingen: Cuvillier Verlag |
Edition |
1. Auflage |
Extent |
Online-Ressource, 152 Seiten |
ISBN |
978-3-7369-4972-0 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
MOS-FET, Stoßionisation, Vertikaler Transistor, High-k Metal-Gate-Technik, Prozessentwicklung (Technik), Niedrigtemperatur, Elektrische Eigenschaft, Stoffeigenschaft, Silicium, Germanium |
DDC notation |
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Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Materialien und Prozessführung für vertikale Stoßionisationstransistoren |
Persistent identifier |
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Record ID |
1286173183 |
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