Title |
OES-Datenerfassung in reaktiven HPPMS-Prozessen und Datenanalyse mittels künstlicher neuronaler Netze / Christoph Franz Robert Schulze |
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Involved |
Christoph Franz Robert Schulze (Verfasser) |
Published |
Düren: Shaker |
Edition |
1. Auflage |
Extent |
Online-Ressource, 170 Seiten : 49 Illustrationen |
Thesis |
Dissertation, RWTH Aachen University, 2025 |
ISBN |
978-3-8440-9896-9 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern, Chargenbetrieb, Prozessüberwachung, Atomemissionsspektroskopie, Datenanalyse, Neuronales Netz |
DDC notation |
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Series |
Schriftenreihe Oberflächentechnik ; 83 |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: OES-Datenerfassung in reaktiven HPPMS-Prozessen und Datenanalyse mittels künstlicher neuronaler Netze |
Persistent identifier |
urn:nbn:de:101:1-2504130520481.508806855313 (URN) |
Record ID |
1362949841 |
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