Title |
Entwicklung von Siliziumnitrid (Si3N4) und Siliziumkarbid (SiC) Beschichtungssystemen durch reaktive Umwandlung von Silizium für die Anwendung in der Halbleitermaterialherstellung und -prozessierung / Felix Sturm ; Gutachter: Joerg Schulze, Johannes Heitmann ; Betreuer: Joerg Schulze |
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Involved |
Felix Sturm (Verfasser) |
Published |
Erlangen: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2025 |
Language |
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Country |
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Topic |
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Subject |
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DDC notation |
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Persistent identifier |
urn:nbn:de:101:1-2507250518530.271409147529 (URN) |
Record ID |
1372380353 |
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