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Jürgen Hersener, Thomas Ricker and Deutschland (Bundesrepublik). Bundesminister für Forschung und Technologie

Erzeugung grossflächiger Mikrostrukturen mittels Elektronenstrahlbelichtung

Als Ms. gedr.

Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, Kernforschungszentrum, 1978

Title

Erzeugung grossflächiger Mikrostrukturen mittels Elektronenstrahlbelichtung / von Jürgen Hersener ; Thomas Ricker

Involved 

Jürgen Hersener (Verfasser)
Thomas Ricker (Verfasser)
Deutschland (Bundesrepublik). Bundesminister für Forschung und Technologie (Herausgebendes Organ)

Published

Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, Kernforschungszentrum
1978

Edition

Als Ms. gedr.

Extent

79 S. : Ill., graph. Darst.

Language

Deutsch

Topic
Informatik
Technik
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Hauswirtschaft und Familienleben
Technische Chemie
Industrielle und handwerkliche Fertigung
Hausbau, Bauhandwerk
Architektur
Grafische Verfahren, Drucke
Fotografie, Computerkunst

Subject

Elektronenmikroskopie
Lack
Elektronenstrahlung

Series

Forschungsbericht ; T 78,18 : Elektronik

Further information

Literaturverz. S. 54 - 60.

Record ID

790509385
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