Title |
Entwicklung einer Prototyp-Kathodenzerstäubungsanlage / Bundesministerium für Forschung u. Technologie. [Durchführende Inst.: Leybold-Heraeus-GmbH-u.-Co.-KG, Werksgruppe M]. Von Jürgen Heimbach ... |
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Involved |
Jürgen Heimbach (Verfasser) |
Published |
Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe |
Extent |
57 S. : graph. Darst. |
Language |
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Topic |
Technische Chemie |
Subject |
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Series |
Technologische Forschung und Entwicklung, nichtnukleare Energietechnik |
Further information |
Als Ms. gedr. |
Record ID |
840675348 |
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