Title |
Halbleitertechnologien für Grossintegration - Gasätztechnik und Hochdruckoxidationen / von Konrad Eisele. Bundesministerium für Forschung u. Technologie. [Durchführende Inst.: Fraunhofer-Inst. für Angewandte Festkörperphysik] |
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Involved |
Konrad Eisele (Verfasser) |
Published |
Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe |
Extent |
99 S. : 13 graph. Darst. |
Language |
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Topic |
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Subject |
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Series |
Technologische Forschung und Entwicklung, Elektronik |
Further information |
Als Ms. gedr. |
Record ID |
840905769 |
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