Title |
SchOHT : Handbuch der Schicht-, Oberflächen- und Halbleitertechnik / hrsg. vom Forschungszentrum Jülich GmbH ; VDI-Technologiezentrum Düsseldorf. [Konzeption, Fachbeiträge, Red. Wolfgang Heidrich ...] |
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Involved |
Wolfgang Heidrich (Verfasser) |
Published |
Düsseldorf: VDI-Verl. |
Extent |
611 S. : 11 graphische Darst. |
ISBN |
978-3-18-401003-4 |
Language |
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Topic |
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Former / later titles |
2. Aufl. u.d.T.: : SchOHTA : Handbuch Schichten, Oberflächen, Halbleiter-Technologien und Anwendungen und deren Anbieter in Deutschland, Schweiz und Österreich |
Record ID |
901007528 |
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