Title |
Kalte Plasmen : Grundlagen, Erscheinungen, Anwendungen / Gerhard Franz |
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Involved |
Gerhard Franz (Verfasser) |
Published |
Berlin, Heidelberg, New York, London, Paris, Tokyo, Hong Kong, Barcelona, Budapest: Springer |
Extent |
X, 295 S. : Ill., graph. Darst. |
ISBN |
978-3-540-53160-9 |
Language |
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Topic |
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Subject |
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Former / later titles |
2. Aufl. u.d.T.:: Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen : Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Kalte Plasmen : Grundlagen, Erscheinungen, Anwendungen |
Further information |
Literaturverz. S. 274 - 285 |
Record ID |
901425311 |
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