Title |
Stoffbelastung in der Mikroelektronik / P. Sartori ; W. Pahlmann. [Hrsg.: Bundesanstalt für Arbeitsschutz] |
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Involved |
Peter Sartori (Verfasser) |
Published |
Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss. |
Extent |
VIII, 122 S. |
ISBN |
978-3-89429-017-7 |
Topic |
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Subject |
Halbleitertechnologie, Gefährlicher Arbeitsstoff, Schadstoffbelastung, Messung |
Series |
Schriftenreihe der Bundesanstalt für Arbeitsschutz. Gefährliche Arbeitsstoffe : GA ; GA 36 |
Record ID |
910279659 |
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