Title |
Ionenbeschussinduzierte Effekte bei der Sputtertiefenprofilierung von Ta/Si-Vielschichtsystemen / Gerd Bachmann |
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Involved |
Gerd Bachmann (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
134 S. : graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Kaiserslautern, Univ., Diss., 1992 |
ISBN |
978-3-86111-380-5 |
Language |
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Topic |
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Subject |
Tantal, Silicium, Mehrschichtsystem, Sputtern, Tiefenprofilmessung |
Series |
Reihe Physik |
Record ID |
930357604 |
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