Title |
Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen / Karl Paul Müller |
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Involved |
Karl Paul Müller (Verfasser) |
Published |
Düsseldorf: VDI-Verl. |
Extent |
IX, 120 S. : 49 Ill. u. graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss. |
ISBN |
978-3-18-140009-8 |
Language |
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Topic |
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Subject |
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Series |
Fortschrittberichte VDI. Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; Nr. 100 |
Record ID |
930997220 |
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